方案摘要
方案下载| 应用领域 | 石油/化工 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | 含量分析>成分分析 |
| 参考标准 | YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法 |
气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。本方法采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
1.气态氯硅烷组分分析的方法原理 气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。本方法采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
2.适用范围 适用于气态氯硅烷组分分析
3.分析依据的标准 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
4.气态氯硅烷组分分析气相色谱描述
4.1. 用途 气态氯硅烷组分分析，如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅。
4.2. 仪器型号 川仪 SC-6000 型气相色谱仪
4.3. 系统配置描述 本方案配置了双阀进样口，双液体进样口，两阀四柱，2 个 TCD 检测器等组成。
文献贡献者
丙酮连氮分析
苯系物（含乙苯）分析
工业氢气成分分析
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