材料科学领域透射电镜和扫描电镜制样方法与技巧

圆派科学仪器（上海）有限公司

TEM样品制备

样品形状（块材、薄膜、颗粒）、结构性质（紧密的、多空的）、化学性质（有机、无机）、物理性质（软的、硬的、有延展性的）、电学性质（导体、半导体、非导体）各不相同，如何选择合适的制样方法？

常备制样方法很多，例如：电解双喷、机械减薄、超薄切片、粉碎研磨、聚焦离子束、散焦离子束，各有优缺点，各有局限性，各种方法如何配合使用得到最好的效果？

SEM样品制备

EBSD样品离子束抛光

所有的EBSD样品制备方法都必须保证样品表面不能有任何划痕，因为划痕下面就是严重损伤。一个深的划痕意味着在其下面有一个深的变形存在。为了获得高质量的EBSD花样就必须去除这些划痕和其下面的损伤层。

从各种角度，用不同时间和加速电压进行的离子束抛光用于清洗增加衬度，比起费时费力的湿化学刻蚀方法是更为可取的。

三离子束制备截面样品

优点：

· 无污染

· 高质量平整切割截面

· 形变或损伤的可能性最低

· 直接用于SEM微区分析

内容截图

干货满满！

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