基于飞秒激光的直写技术具有高精度、无掩模、非接触及立体加工等优点,是当前微纳加工领域的关键技术之一。一方面,飞秒激光由于其超高的光子密度,容易诱发高分子聚合物材料的双光子吸收效应,从而突破光学衍射极限实现一百纳米量级的加工精度;另一方面,飞秒激光由于其极窄的脉宽与极高的峰值功率,在飞秒切削加工金属、陶瓷等材料时能够直接将材料转变为等离子体,加工热影响区域极小。近年来,飞秒激光直写技术已在微纳光学、光信息存储、仿生材料、生物医学诊疗等领域都得到了广泛的应用,为相关领域的纳米结构加工需求提供了有效的解决方案。
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