布鲁克 Micro-XRF On SEM,,元素侦测极限提升至10ppm

布鲁克 Micro-XRF On SEM,,元素侦测极限提升至10ppm

参考价:¥30万 - 50万
型号: QUANTAX Micro-XRF
产地: 德国
品牌: 布鲁克
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核心参数
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产品详情

存在一系列不同的分析技术,以便从代表单一矿物相的较小区域获取地球化学信息。最常见的分析技术基于电子束(e-beam)源,即电子探针微分析仪 (EPMA) 或带有能量分散光谱仪的 SEM(SEM - EDS).

同样,Micro-XRF 分析可被视为电子束激发的补充技术,它也提供小区域样本信息。Micro-XRF 基于光子激发,样品会直接通过 X 射线 ((X-Ray-beam) 发生作用,与传统的基于电子束的系统相比,X 射线束具有明显的差异。现代 X 射线多面体光学的可用性使 X 射线能够聚焦到小于 30μm 的点大小,并且所有光片都包含在XTrace,可安装在可用SEM端口上的XRF源(图1)。这导致显微镜系统具有双光束的潜力,即电子束和X射线束。因此,可以使用与电子束系统类似的参数操作 Micro-XRF 系统,从而产生与传统点 SEM-EDS 分析相媲美的结果,同时从 X 射线光束样本相互作用中获取其他信息

  • Micro-X射线荧光(Micro-XRF)光谱分析是利用扫描电子显微镜(SEM)对传统能量分散光谱(EDS)分析的一种互补的无损分析技术。这种分析对于在未知样本中描述元素成分非常重要,从大厘米大小的同构标本到小微米颗粒。

  • X 射线激发对微量元素检测(某些元素的灵敏度低至10ppm)、扩展的 X 射线光谱范围(高达 40 keV)以及样本中更深入的信息具有更高的灵敏度。

  • 配备 X 射线管,结合微聚焦 X 射线光学,可产生30μm的小点大小,具有高强度信号产额。

  • 模块化的压电陶瓷piezo-based stage,专门设计安装在现有的SEM阶段之上,使高速元素X射线秒扫描mapping"“on the fly"大面积高达4毫米/秒的速度。这使X射线映射数据能够在50 x 50 mm(或更高)的样本大小上采集,将光元素光谱数据以及微量元素和/或更高能量X射线数据整合到快速且用户友好的工作流中。

  • X射线激发的更大深度允许多层系统从1纳米开始,范围高达40μm,这是不可能被电子激发出来的。


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