型号: | 0 |
产地: | 其他 |
品牌: | |
评分: |
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公司提供的一维 、二维 、三维磁场探针台,采用无磁材料制成,一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置,产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷(磁场较小)也可采用水冷结构(磁场较大),并且配备有线圈过热保护装置。和锦正茂生产的高精度双极性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流,可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台,可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动,便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂,同时配有高精度电子显微镜,便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号,用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。
广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台自主研发的高精度双极性电源相匹配,通过真正的双极性电源输出,实现了空间任意方向上的矢量场合成。
t 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线
t CCD或C-MOS视频成像装置
t Chuck运动装置
t 电磁铁系统/超导磁铁系统
t 1Mpa正压系统升级
t 超高温升级选件
t 超高真空升级选件
t 各类探针夹具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 转接头
t 静音真空泵
技术指标:
三维磁场探针台 | |||
型号 | T8-500-3 | T8-300-3 | T8-100-3 |
材质 | 所选材料均为优质无磁材质 | ||
磁场范围 | 500Gs | 300Gs | 100GS |
线圈材质 | 优质耐高温漆包线 | ||
磁场均匀性 | 中心区50毫米球体内1% | ||
电源稳定性 | 三台高精度直流电源 50ppm可选10ppm | ||
磁场分辨率 | 0.05 mT | ||
角度分辨率 | 0.02° | ||
样品固定方式 | 吸盘或者压片 | ||
样品台直径 | 50mm可定制 | ||
显微镜 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm,可选加载激光 | ||
放大倍数 | 16~100X/20~4000X | ||
探针臂数量 | 2、4可选 | ||
探针臂行程 | 25mm-25mm-12mm可更换 | ||
探针臂移动精度 | 10μm /2μm/1μm/0.7μm可选 | ||
探针长度 | 38mm | ||
探针直径 | 0.51mm | ||
针尖直径 | 10μm/5μm/1μm | ||
探针材料 | 钨/铍铜/GGB | ||
漏电精度 | 100fA | ||
显微镜 | X、Y平面2*2inch,精度1μm,Z轴行程≥50.8mm,可选加载激光 |
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