PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统_价格-武汉赛斯特精密仪器有限公司

产品详情

PLUTO-160 等离子清洗机/表面处理系统

PLUTO-160是一款为工业级客户和研发型客户使用需求设计的宽泛使用等离子表面处理设备，适用于等离子清洗，活化以及刻蚀等多种应用，设备可在严苛环境下稳定运行，获得高度均一的使用效果。

产品特点：

13.56MHz射频电源与自动匹配系统，具有优异的稳定性与可重复性

• 灵活的电极结构设置与优化的气体馈入、分布方案，确保大批量处理的均匀性

• PLC与工控机提供稳定的过程控制，设备运行的实时参数通过显示屏直观呈现

• 系统稳定可靠，易于保养与维护

标准腔体电极为平行板电极结构，通过改变电极配置(RF电极、地电极、悬浮电极等)可以获得不同的工艺效果

最多支持扩展至8片电极

每对电极间为独立空间

批处理电极改变了标准的平行板电极结构

通过优化的电场和进气设计实现对magazi和boat等载具内产品的均匀处理。

技术参数：

应用领域：

• 表面清洁与活化

• 表面有机污染物与金属氧化物的去除

• 增强表面胶体流动性，消除涂层分层

• 提升表面能，实现难粘材料的有效结合

• 表面粗化及微刻蚀

• 纳米级表面粗化，应力释放

• 光刻胶、残胶的去除

• 对多种材料的选择性刻蚀

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Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 武汉赛斯特精密仪器有限公司
企业类型:
信用代码: 420102000505809
成立日期: 2016年06月17日
注册资本: 1000
经营范围: 仪器仪表及设备、检测仪器、分析仪器、电子工业专用设备、第一类、第二类医疗器械、电力设备、电气设备、实验设备及耗材、新能源电池检测仪器及设备、机电设备、机械设备、办公自动化设备、新能源设备、电脑设备及耗材、办公设备、监控设备、数码产品、电子产品的研发、销售、技术咨询、技术服务及售后服务；建筑材料、五金交电、化工产品（不含化学危险品）的销售；环境工程设计、施工；计算机软硬件系统设计及技术服务；货物或技术进出口（国家禁止或涉及行政审批的货物和技术进出口除外）。（依法须经审批的项目，经相关部门审批后方可开展经营活动）