探针台简介
专注于物理、化学和材料等领域的科学仪器研发、制造、销售、服务为一体的综合型高科技企业。为广大科研工作者提供磁性、低温、高温、真空、的实验环境。
自2011年成立至今，已研发出各种类型的电磁铁、液氮型低温恒温器、液氦型超低温恒温器、制冷机系统集成、高温真空磁场退火炉系统、Helmholtz线圈全套解决方案、高稳定性双极性电源、霍尔测量系统、电输运测量系统、磁光克尔测试系统、高低温磁场真空探针台测试系统等，并可根据用户需求，定制出各种类型的实验产品。
这些产品可以用于很多领域，包括半导体，微机电系统，超导体，电子学，铁电体，材料学，物理学和光学等。低温探针可用于桌面或独立系统，包括一个使用液氦或液氮（温度范围从低于4K到475K，可选600K）的超高效率连续流系统，且提供不对样品造成任何振动的快速冷却法。探测设备使用典型的单系统四探针法（也支持双探针，六探针或八探针）测量直流脉冲，低频率信号或微波信号或同时使用两种信号。我们制造的每套系统都采用标准的品质工艺。所生产的产品已经成为您所有的对于标准和定制低温系统的需求的*佳选择。※探针台选型注意事项
※*大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，*小的单颗芯片尺寸？
※探针台机械精度要求多高？
※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？
※*多需要几个探针同时去点测？
※是否会用到探针卡测试？
※光学显微镜的*小分辨率需要用到多少？
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
※探针点测时，对电流的要求是否达到100fa或者以下？低
电容要求是否要做到0.1pf？是否有射频需求？
※接驳的测试仪器接口有哪些？
※测试环境时是否会需要加热或者降温？ 是否需要密闭腔体？
※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有压缩空气？高低温真空探针台
产品概述：
可进行真空环境下的高低温测试（4.2K~500K），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作，温度均匀性更好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二极管作为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍率金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性(支持*高67GHz频率)，探针热沉设计，LD/LED/PD的光强/波长测试，自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。
应用范围：
高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。可选附件：
t 防震桌
t 多级压缩制冷机
t 机械泵/分子泵组/离子泵
t 射频部件
t 各类型频率真空接头
t 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…
t 各类探针夹具
t Chuck运动装置
t 电磁铁系统/超导磁铁系统
t 1Mpa正压系统
t 超高温升级选件
t 超高真空升级选件
技术指标：
| 型号 | T81-50探针台 | T80-50探针台 |
| 制冷方式 | 液氦/液氮制冷 | 闭循环制冷机 |
| 腔体材质 | 无磁不锈钢或者铝合金 |
| 真空度 | *高真空10-8Pa |
| 真空腔观察窗尺寸 | 2inch（可选） |
| 控温范围 | 4.2K-450K | 5K-450K |
| 控温分辨率 | 0.001K控温仪相关 |
| 温度稳定性 | 0.1K控温仪相关 |
| 降温时间 | 40min | 150min内，视制冷机功率定 |
| 温度传感器 | 硅二极管、PT100（3个，样品台和探针臂和防辐射屏上各一个） |
| 加热电源 | LVDC 低压直流 |
| 样品台材质 | 镀金无氧铜 |
| 样品台尺寸 | 直径20-50mm，可选100mm |
| 样品台平整度 | ≤7μm |
| 样品台固定方式 | 固定的样品台（可升级随位移台移动） |
| 样品台振动级别 | ≤50纳米 | ≤1μm（三级减震） |
| 探针臂数量 | 2个、4个、6个、8个可选 |
| 探针臂机械精度 | ±12.5mm(可升级±25mm),精度1μm（可选） |
| 探针种类 | 钨、铍铜、微波探针（可选高达67GHz的GSG探针） |
| 探针调节 | 真空波纹管外部调节，手动控制 |
| 放大倍数 | 16~100X/20~4000X |
| 显微镜行程 | X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z轴行程≥50.8mm |
| 电力需求 | 220V 50-60Hz |
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