共聚焦显微镜 表面缺陷检测机

共聚焦显微镜 表面缺陷检测机

参考价：面议
型号： OPLETICS AI2
产地： 日本
品牌： Lasertec
评分：
核心参数
上海诺乔科学仪器有限公司
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特长

  • 各种材质的半导体晶圆的自动缺陷检查、高倍复查、3D形状测量 一台设备多工序实现。R&D到量产多场景可对应

  • 快速检查：亚微米级感度、3inch晶圆15分完成

  • 复查与形貌分析：物镜低倍到高倍切换；共聚焦、干涉等多种3D测量模式切换

  • 配合Deep Learning软件实现智能分类。有图案晶圆可对应。

  • 各种化合物晶圆、玻璃晶圆、薄膜等透明样品均适用，排除背面影响。

  • 软件到硬件均由Lasertec提供，根据客户需求定制各种功能机。


用途

  • 各种材质的半导体晶圆的自动缺陷检查

  • 缺陷复查

  • 缺陷3D形状测定

  • 工艺过程中缺陷追踪

参数

检测时间（3"）15分
检测对象各種ウェハ（Si、SiC、GaN、InP、AIN、ガラスなど）、ガラス基板、フィルムなど
检查共聚焦光学系、微分干涉
复查共聚焦光学系、白光干涉、相差干涉
形状测量


上海诺乔科学仪器有限公司为您提供Lasertec共聚焦显微镜 表面缺陷检测机OPLETICS AI2，LasertecOPLETICS AI2产地为日本，属于进口激光共聚焦显微镜，除了共聚焦显微镜 表面缺陷检测机的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多激光共聚焦显微镜,诺乔科学客服电话400-860-5168转4695，售前、售后均可联系。

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