型号: | LAS |
产地: | 加拿大 |
品牌: | SimulTek思泰科 |
评分: |
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SimulTek 原子氧源
采用激光轰击氧分子,形成中性氧原子束流,性能如下:
原子氧能量:4~7eV
原子氧束流通量大于5.0×1015 atoms/cm2/s
原子氧纯度大于95%
束流均匀性优于90%
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