型号: | OptiGauge系列 |
产地: | 美国 |
品牌: | LUMETRICS |
评分: |
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如图所示:
Light Source(短相干光源)发出短相干光束,经Beamsplitter分束成两束光,这两束光通过准直仪聚焦到Measurement arm(测量臂)和Reference arm(参考臂)上;
在测量臂段,光束经待测物前后两表面反射产生两束反射光;在参考臂段,光束被delay line(延迟线路)中的扫描参考镜反射。
各反射光束经光纤返回到Beamsplitter 中,此时扫描反射镜反射的光束分别与R1和R2两束光发生干涉产生两干涉信号经探测器(光电二级管)转换为电信号再由显示仪显示。参考镜位置可以精确移动,当干涉仪的测量臂与参考臂光程相等时,才能够发生干涉。这样通过监控参考镜的移动,就可以 测量被测镜的位置。
1. 非接触式、非破坏性;
2. 实时在线测量或离线测量;
3. 可单次测量多层膜,最高可测 20 层;
4. 探针灵活配置,实现多个不同目标测量 (最多可配8个探头);
5. 测试速度快(1s)
6. 适用范围广
型号 | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
测量范围(n=1.5) | 12μm to 3.3 mm | 12μm to 12 mm | 12μm to 35 mm |
测量层数 | 1 | 20 | 20 |
绝对精度 | ±1μm | ±0.1μm | ±0.1μm |
重复精度 | 1μm 1σ | 0.1μm 1σ | 0.1μm 1σ |
扫描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可选 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
测量头工作距离 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
光纤长度 | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m |
Lumetrics 产品既可以提供独立的测量头,也可以集成在各种设备中,广泛应用在以下领域,
1、光电子行业:
2 、薄膜行业:测量塑料薄膜的厚度
3 、医疗行业:测量滴液管、塑料管壁厚、糖尿试纸、血袋等
4、单件元件厚度控制(特别适用于红外材料,测量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度测试:浮法玻璃、液晶平板 透镜中心厚及胶合间隙测量
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