horos—光学粗糙度传感器
使用horos 和WLI 测量粗糙度(样本:1.-Mo/Si-镜子,2-Ti-膜,3-钻石旋转法下Al-表面)
测量600mm Ritchey-Chrétien望远镜镜片的粗糙度
钻石旋转法下AI-表面的散射分布
用于完整的表面表征基于机器人的传感器设置
仪器介绍
散射和粗糙度传感器horos(高灵敏光学粗糙度传感器)是一种用于三维角分辨散射测量(ARS、BRDF)的小型仪器,具有高灵敏度和易于操作的特点。
可以测量表面的rms粗糙度、功率光谱密度函数和各向同性。这些测量结果可以直接关联替代技术,如白光干涉测量(WLI)。
可用于测量±7°角度圆柱体的3D球面散射分布,积分后可得总散射损失指标(TS)。
系统参数
测量波长:例如650nm
灵敏度:ARS<10 -4 sr -1, rms < 0.5 nm
工作距离:>10mm
测量时间:<1S
校准定量测量
紧凑尺寸:200x170x65mm3
可选配:与机械臂结合
应用
将传感器直接集成到光学制造过程中进行质量控制,直接控制探测器矩阵(看曝光时间)和激光功率(手动和自动操作)
散射分布的实时视图
用于检测ARS和BRDF的自动化例程
图形化显示测量结果
对于抛光的不透明表面:根据散射数据计算均方根粗糙度(0.5nm至20nm)和粗糙度功率谱密度函数(空间带宽在0.02μm-1至0.2μm之间)
数据导出(ASCII和JPG)
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