Mini等离子、反应离子刻蚀机

2021-03-02 13:06  下载量:6

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新一代CIONE系列Plasma & RIE Etching System MINI等离子/反应离子刻蚀机采用先进的等离子体刻蚀及反应离子刻蚀技术,用于微纳器件加工、硅氧化物刻蚀、有机高分子涂层刻蚀等,仪器简洁、实用、高效,可以满足实验室不同微纳加工的需求。

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