型号: | PicoMaster ATE-150 |
产地: | 荷兰 |
品牌: | Raith/矽万 |
评分: |
|
PicoMaster ATE-150
PicoMaster ATE-150是一款具有超高精度组件的多功能紫外激光写入器,专为用户提供在感光层中创建最高自由度的微结构而设计。系统的光栅化工作原理,搭配上高速扫描以及可调螺距步进激光头,确保了整个曝光制程在感光层表面准确而稳定地完成。
系统优点
v系统支持高达4095级的灰度、纯二进制模式;
v系统对准精度最高小于250纳米,线宽均匀性小于50纳米;
v系统最大支持6英寸基版,200毫米/秒扫描速度,150x150毫米曝光面积;
v系统采取全封闭结构设计,必需的部件、控制架构和真空泵都在外壳内,便于快速安装;
v系统连接到空气温度调节器机组开始供应空调空气时,内置堆式过滤器将产生干净的交叉气流;
v系统运动平台由机械缓振系统支撑,它将过滤掉绝大多数的噪音振动,以确保工作时的振动最小
v紧凑型光学模块,将整个光路包含其内,这使得光路尽可能地缩短,与传统光学装置相比,其指向稳定性将大大提高;
v为获得最佳的光斑形状,光学模块设计了光束整形光学元件,配合长寿命的405纳米氮化镓激光二极管进行光刻制程;
v搭配拥有自主专利的高数值孔径物镜,这使得市场上最小的高质量激光束光斑成为现实;
v光学模组中,650纳米红色激光控制自动对焦系统可自动校正高度变化。
v选项:可根据要求提供375纳米波长的光学模块替换405纳米光学模组。
v选项:对于要求较低的任务,可通过使用全自动数值孔径开关来选择较大的光斑大小。此开关允许系统使用更大的光斑尺寸来提高直写速度。
v选项:系统配备375 纳米光学模块后,将支持用户使用仅适用于I-line光源的光阻,而光斑尺寸会减小到270纳米,这将允许系统以更高的分辨率写入线条。
光学系统 | |
直写激光 | 405纳米或375纳米 |
激光寿命 | 超过10000个工时,5年以上; |
激光强度 | 光斑强度最大3毫瓦,可由软件控制; |
灰度控制 | 4095级 |
直写模式 | |
直写精度 | 0.3微米, 0.6微米, 0.9微米 |
曝光区域 | 最大150x150毫米 |
基版尺寸 | 最小5x5毫米, 最大160x160毫米 |
直写表征 | |
线宽尺寸 | 最小0.3微米 |
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询