资料摘要
资料下载超纯水是半导体行业在清洁与生产晶圆时所采用的最有效的强溶剂。在过去的四十年中,电子行业蚀刻到硅芯片上的电路数量发生了指数性增长。电路数量的增加大大减小了线宽,因此,对超纯水系统准确且持续测量的要求更高。
简化制药用水中的TOC测量
简介:制药企业面临着越来越多的资源清单,旨在定义或协助解释监管指导。在确定具体制造过程的方法时,了解这些资源对特定参数、分析仪器和分析方法有何影响至关重要。本文清楚阐述了这些资源的适用性,并通过一个具体的例子展示了制药用水的连续总有机碳(TOC)监测方法。
如何选择合适的TOC传感器
简介:随着最终用户不断完善、更新或更换工艺以提高效率,满足新法规要求,并为客户提供更高质量的产品,他们对其公用事业团队提出了更高的要求,尤其是在水质和确认不含任何污染物方面的要求也越来越高。对于纯水和超纯水用户(制药、微电子和电力)来说,这种过程控制更为关键,因为水质的任何偏差都会对水系统和最终产品/能源生产造成重大影响。作为这一努力的一部分,需要对关键污染物总有机碳(TOC)进行控制。
借助在线TOC提高晶圆质量和产量
简介:由于微电子工业技术的高速发展,对晶圆加工中使用的超纯水(UPW)的要求变得日趋严格。随着每片晶圆上的芯片数量增加,芯片电路中的线宽变得更窄,目前线宽已缩小至单数纳米范围。因此, UPW的监测和控制对于FAB和晶圆代工厂至关重要。必须实时监测的两个关键参数是电阻率和总有机碳(TOC)。严格控制UPW系统中的这些参数,能够帮助半导体制造商提升产品质量,并最大限度地提高产量
使用在线TOC检测,简单实现合规性
简介:一家快速发展的英国公司需要一个新的去离子水系统,于是向Veolia Water Technologies寻求一套可靠高效的解决方案。当咨询 TOC 监测事宜时,Veolia 推荐了 在线总有机碳分析仪,因为其“功能强大、坚固耐用,且梅特勒托利多销售工程师的服务相当到位”。
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