随着人工智能(AI)、智能通信(5G)、物联网(loT)和大数据驱动飞速发展,市场对于芯片的尺寸和质量要求,都在发生着质的飞跃。
超纯水(UPW)是确保微电子行业高效生产的基石之一,对制造过程和产品质量有着至关重要的作用。
如何对水质异常进行快速响应,避免问题水质影响更多的制程工艺;如何对异常情况进行排查和解决?这些问题是该行业面临的较大挑战。
同时,由于行业标准SEMI F63更新了对UPW的最新要求(见图表1),这都表明了,超纯水UPW在线实时监控不可或缺。
*图表1
面对日益严峻的挑战,梅特勒托利多THORNTON,早在1964年便处于超纯水监控的技术前沿,专业提供微电子行业中电阻率、TOC、微生物、pH、ORP、DO、硅/钠、臭氧等重要参数的在线实时测量。
下面小梅将一一为您解析超纯水在线监控的解决方案!
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活动说明:
活动截止日期:2021年12月31日
活动对象:微电子行业客户(包含且不限于芯片,平板显示器,电子级化学品等)
本活动最终解释权归梅特勒托利多所有。
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