芬兰PICOSUN 原子层沉积系统 R系列_价格-深圳市科时达电子科技有限公司

产品详情

PICOSUN拥有30多年在芬兰ALD反应器制造而得到的专业技术。Tuomo Suntola博士，于1974年发明了ALD技术，是PICOSUN董事会的成员。我们的首席技术官SVEN LINDFORS从1975年开始连续的设计ALD系统。综合起来讲，PICOSUN拥有了200多年的ALD经验并贡献了100多项ALD专利。我们悠久的历史和广泛的背景使PICOSUN成为ALD技术优质的合作伙伴。

技术参数：

技术指标
SUNALE™ R系列技术特点

基本特点：
晶片尺寸 2-6”, 50-150 mm (8’’ = 200 mm on request)
工艺温度 Up to 500°C

反应室体积小型、中型、大型
反应室材料 316 SS, Ti, Ni, Al (quartz)
前驱体 2-6 气体 / 气体 / 固体

基片装载气体升降

尺寸：
尺寸 27.6 x 41.3 x 36.4’’, 70 x 105 x 92.5 cm (W x H x D)
重量 200 kg

工况：
电源 100-240 V, 50/60 Hz, 1- or 3-phase, 3.7 kW Vac
真空泵 30-80 m3/h
载气 99.999 % N2 / Ar, min. 2 slm

压缩空气 4-5.5 bar 过压
冷却水反应器不需要

排气为真空泵及源橱柜配备

样品装载选项：
Picoloader™手动样品装载系统，带一个预真空室和闸阀

主要特点：

特点
多功能的反应器设计
全套的服务

深圳市科时达电子科技有限公司为您提供芬兰PICOSUN 原子层沉积系统 R系列，nullR系列产地为芬兰，属于进口原子层沉积设备，除了芬兰PICOSUN 原子层沉积系统 R系列的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多原子层沉积设备,Kesda客服电话400-860-5168转4967，售前、售后均可联系。

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工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市科时达电子科技有限公司
企业类型:
信用代码: 440300215081067
成立日期: 2020年10月20日
注册资本: 100
经营范围: 电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。

型号：	R系列
产地：	芬兰
品牌：
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