电子显微镜是国家科委统管共用的23种大型精密仪器之一,它的应用已扩展到物理、化学、生物、医学、地学、材料科学等很多领域,对这些学科的发展正起着越末越大的推动作用,同时,电子显微镜也是一种昂员、复杂的精密仪器,管理、使用、维修都需专门的知识,如何使其长期处于正常的工作状态,提高工作效率是每一位电镜工作者的基本职责。
下面简要谈一下电镜的日常维护及故障的检修
1 日常维护
1.1 保持电镜室的洁净,室内温度要求在20±5℃,湿度在65%以下。这些条件可通过空调、门窗、排气扇等来达到。
1.2 长期保持镜筒在一定的真空状态,即使电镜不工作期间,也要做到每星期排气1~2次,以防镜筒内部锈蚀。
1.3 机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上,并定期用热偶规真空计测定其排气性能,以确定机械泵油是否需要换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色,说明油需要换。
1.4 定期更换机器内扩散泵油。
1.5 定期清洗镜筒,确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件,如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别,如光栏有真空喷涂仪加热清洗,电子枪室用酒精和内酮按1:1混合用棉球清洗,但不论清洗哪一个部件,最好少用或不用抛光膏。
1.6 定期开启电镜各功能部分,每次时间不应小于1小时,防止电气元件的老化。
1.7 定期检测电镜X射线的泄漏情况。
2 故障的检修
电镜是由电源系统、真空系统、成像系统(镜,筒)三大部分组成。如出现故障,首先应判断故障的大体部位,然后逐级检查,将导致故障的范围逐渐缩小,最后查出故障的元件。
2.1 初步检查:故障出现后,切不可带也盲动,更不可乱拆乱卸。要用眼看(如电脑程序混乱、元件脱落、打火等现象),耳听(如声音的异常),鼻嗅(如高压放电的嗅氧味、元器件被烧的气味),手摸(元件是否发热等)来检查。
2.2 判断部位:如初检未能排除故障,就要进一步检查,首先检查各级供电电源的输入、输出信号,确定故障所发生的部位。
2.3 查找故障的元件:确定故障的部位后,要进一步检查,最后找出发生故障的元器件,采取措施,使仪器恢复正常的工作。
检查的手段很多,这里只介绍仪器检测法和替换法。
(a)仪器检测
采用示波器、数字电压表、信号发生器、频率计以及万用表等进行检查,速度快、效率高。根据故障的情况,可用不同的仪器进行波形法、电压法、电阻法检查。
波形法:凡用示波器能测出波形的电路都可用波形法检查。
电压法:除用波形法外应尽量的使用电压测试的方法,这种方法不必断开元器件,要求维修人员必须熟习电路和装配工艺。
电阻法:采用电压法虽然价值很大,但当电路出现元件的短路、冒烟、打火等现象时,就必须关掉电源。在这种情况下,就必须用欧姆表来检查元器件的开路、短路、虚焊等故障。
(b)替换法
这是日前对大型进口仪器较为实用、简便、准确的检查方法。因目前进口的大型仪器随机所带的线路图简单,有时,多个元件被封闭无法检查,所以只能替换同型号机器上的线路板或元件来确认故障的出处。替换时一定要确认机器型号一样,线路板编号一样,元件标号一样,注意安插到位以免短路造成更大的损失。
2.4 维修后的检查:故障排除后,不要立即开机使用,必须对所检查过的部位进行认真复查,确认无误后再开机使用。
大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场,此外,还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务,以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源(电子显微镜灯丝)、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均有优势。
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