型号: | ET200 |
产地: | 上海 |
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· 对于二次元表面粗度解析和段差、测定、实现高精度 .高分解能.优越安定性、微小的测定力可对应软质样品表面
· 采用直动式检出器,可达到最佳重现性测量
最大试片尺寸 | ?200mm×高度50mm |
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重现性 | 1σ ≤ 1nm |
测定范围 | Z:600μm X:100mm |
分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
测定力 | 10μN~500μN (1mg-50mg) |
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