| 型号： | KLA MicroXAM-800 |
| 产地： | 美国 |
| 品牌： | KLA |
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MicroXAM-800光学轮廓仪是一种非接触式3D表面形貌测量系统。MicroXAM的白光干涉仪可以埃级分辨率对表面进行高分辨率测量。 该系统支持相位和垂直扫描干涉测量，两者都是传统的相干扫描干涉技术（CSI）。MicroXAM进一步扩展了这些技术，它采用SMART Acquire为新手用户简化了程序设置，并且采用z-stitching干涉技术可以对大台阶高度进行高速测量。
MicroXAM测量技术的优势在于测量的垂直分辨率与物镜的数值孔径无关，因而能够在大视野范围内进行高分辨率测量。测量区域可以通过将多个视场拼接为同一个测量结果而进一步增加。 MicroXAM的用户界面创新而简单，适用于从研发到生产的各种工作环境。
针对纳米级到毫米级特征的相位和垂直扫描干涉测量
SMART Acquire简化了采集模式并采用已知最佳的程序设置的测量范围输入
Z-stitching干涉技术采集模式，可用于单次扫描以及编译多个纵向(z)距离很大的表面
XY-stitching可以将大于单个视野的连续样本区域拼接成单次扫描
使用脚本简化复杂测量和工作流程分析的创建，实现了测量位置、调平、过滤和参数计算的灵活性
利用已知最佳技术，从其他探针和光学轮廓仪转移算法
台阶高度：纳米级到毫米级的3D台阶高度
纹理：3D粗糙度和波纹度
形式：3D翘曲和形状
边缘滚降：3D边缘轮廓测量
缺陷复检：3D缺陷表面形貌
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