高端制造业中的通用性超精密3D光学测量仪器

2023-11-27 10:03  下载量:0

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超精密3D光学测量仪器结合镜头防撞保护技术、精密双重隔振技术以及环境噪声评价技术,具有高精度、自动化程度高、实时反馈和范围广等优势,可以实现自动化测量和高效调整,可对精密零部件的表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸实现微纳级测量,提高加工的准确性和效率的同时检测加工过程中的质量控制,确保零部件质量达标。在微纳米结构检测中有着重要意义。

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