资料摘要
资料下载与其它表面形貌测量方法相比,光学3D表面轮廓仪达到纳米级别的相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI),具有快速、非接触的优点。它结合了跨尺度纳米直驱技术、精密光学干涉成像技术、连续相移扫描技术三大独特技术,能够滤除光源不均匀带来的误差,以超越0.1nm的纵向分辨能力,让显微形貌分毫毕现;以优于0.1%的台阶测量重复性,让测量数据万千如一。 在半导体行业,SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪可用于检测芯片表面缺陷和颗粒,确保产品的质量和性能,从而将不良产品阻截在市场之外;IC封装中用于测量减薄之后的厚度、晶圆的粗糙度、激光切割后的槽深槽宽,测量导线框架的粗糙度;在分立器件封装中,测量QA对打线深度,弹坑深度。 此外,不管是从超光滑到粗糙,还是低反射率到高反射率的物体表面,光学3D表面轮廓仪都能够以优于纳米级的分辨率,自动聚焦测量工件获取2D,3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
台阶仪探针之下,精准丈量微观世界
简介:台阶仪最高垂直分辨率可达亚埃米级,且垂直方向动态比率高,可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。
精准定位,激光领航——激光跟踪仪助力服务机器人性能提升
简介:通过激光跟踪仪的精确测量,可以全面评估机器人定位算法的性能,发现潜在问题,并为性能优化提供可靠依据,最终提升机器人的服务水平,推动服务机器人产业的健康发展。
三维轮廓仪测粗糙度:SuperView W光学3D表面轮廓仪功能详解
简介:在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业,表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。
粗糙度轮廓仪功能简介:SJ5800一体型轮廓仪功能亮点
简介:一体型轮廓仪高精度、高稳定性和多功能性,无论是在研发、生产还是质量控制环节,都是提升测量效率和准确性的理想选择。
纳米级材料尺寸如何测量?
简介:基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累,自主知识产权的白光干涉仪(Z向分辨率可高达0.1纳米)和共聚焦显微镜,广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域。
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