资料摘要
资料下载与其它表面形貌测量方法相比，光学3D表面轮廓仪达到纳米级别的相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)，具有快速、非接触的优点。它结合了跨尺度纳米直驱技术、精密光学干涉成像技术、连续相移扫描技术三大独特技术，能够滤除光源不均匀带来的误差，以超越0.1nm的纵向分辨能力，让显微形貌分毫毕现；以优于0.1%的台阶测量重复性，让测量数据万千如一。 在半导体行业，SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪可用于检测芯片表面缺陷和颗粒，确保产品的质量和性能，从而将不良产品阻截在市场之外；IC封装中用于测量减薄之后的厚度、晶圆的粗糙度、激光切割后的槽深槽宽，测量导线框架的粗糙度；在分立器件封装中，测量QA对打线深度，弹坑深度。 此外，不管是从超光滑到粗糙，还是低反射率到高反射率的物体表面，光学3D表面轮廓仪都能够以优于纳米级的分辨率，自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。
文献贡献者
台阶仪探针之下，精准丈量微观世界
简介：台阶仪最高垂直分辨率可达亚埃米级，且垂直方向动态比率高，可以获取表面轮廓形貌、粗糙度、波纹度、形状误差及其它一些形貌特征等综合信息。
精准定位，激光领航——激光跟踪仪助力服务机器人性能提升
简介：通过激光跟踪仪的精确测量，可以全面评估机器人定位算法的性能，发现潜在问题，并为性能优化提供可靠依据，最终提升机器人的服务水平，推动服务机器人产业的健康发展。
三维轮廓仪测粗糙度：SuperView W光学3D表面轮廓仪功能详解
简介：在半导体制造、3C电子、光学加工等高精度行业，表面粗糙度的测量精度直接影响到产品的性能和可靠性。SuperView W系列光学3D表面轮廓仪正是为了满足这一需求而设计的。
粗糙度轮廓仪功能简介：SJ5800一体型轮廓仪功能亮点
简介：一体型轮廓仪高精度、高稳定性和多功能性，无论是在研发、生产还是质量控制环节，都是提升测量效率和准确性的理想选择。
纳米级材料尺寸如何测量？
简介：基于纳米传动与扫描技术、白光干涉与高精度3D重建技术、共聚焦测量等技术积累，自主知识产权的白光干涉仪（Z向分辨率可高达0.1纳米）和共聚焦显微镜，广泛应用于半导体、3C电子、高校科研等行业领域。
相关产品
关注
拨打电话
留言咨询
