3d光学轮廓仪测微光学器件应用及其重要意义

2023-12-29 11:32  下载量:2

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3d光学轮廓仪通过利用白光的干涉和衍射现象,能够对微小的表面高度差异进行精确测量,并得出精准的尺寸和形态数据。对于超光滑透明微光学器件的测量来说,3d光学轮廓仪不仅具备高精度和高分辨率的特点,还能够快速、无损地获得物体的三维形貌信息。

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