资料摘要
资料下载WD4000晶圆几何量测系统可自动测量Wafer厚度、弯曲度、翘曲度、粗糙度、膜厚 、外延厚度等参数。该系统可用于测量不同大小、不同材料、不同厚度晶圆的几何参数；晶圆材质如碳化硅、蓝宝石、氮化镓、硅、玻璃片等。
文献贡献者
探索GTS激光跟踪仪：如何实现大空间尺度的微米级测量？
简介：中图仪器推出的激光跟踪仪USMN组网技术，通过多测量设备构建空间坐标测量网，优化数值计算技术，提高测量精度和效率，突破单站测量局限，实现大空间内10微米精度测量，助力工业检测优化生产流程。
“软件即仪器”——全新架构 Xtreme Vision显微测量软件平台
简介：中图仪器开发的XtremeVision显微测量软件，集成3D形貌重建等功能模块，满足高精度形貌表征需求，非接触式无损检测，界面友好，自动化高效，广泛应用于多领域。
机床性能优化：校准补偿系统在故障诊断与预防性维护的应用
简介：激光干涉仪可以测量机床的线性定位精度、重复定位精度、反向间隙等。它通过高精度的环境补偿模块，能够自动补偿激光波长和材料特性，从而确保测量结果的准确性。
三坐标测量机绿色转型下的高精度测量
简介：随着全球对于可持续发展和环保的重视，绿色制造成为新的工业趋势。在这一背景下，三坐标测量机不仅需要提供高精度的测量，还需要在设计和制造过程中考虑到能效和环境影响。丰富的产品线搭配，可以为企业提供从入门级到高端的多种选择，满足不同规模企业在绿色制造转型过程中的需求。
如何根据产品的表面尺寸测量需求选择合适的测量设备
简介：选择合适的测量设备对于确保产品质量和提高生产效率至关重要。通过综合考虑测量需求、技术适用性、设备功能与性能、操作便捷性以及售后服务，企业可以更加精准地选择适合自身生产需求的测量设备。
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