资料摘要
资料下载随着科技进步，显微测量仪器以满足日益增长的微观尺寸测量需求而不断发展进步。多种高精度测量仪器被用于微观尺寸的测量，其中包括光学3D表面轮廓仪（白光干涉仪）、共聚焦显微镜和台阶仪。有效评估材料表面的微观结构和形貌，从而指导生产过程、优化产品性能。
文献贡献者
CEM3000系列台式扫描电镜：台式电镜领域的又一“中国神话”
简介：国产CEM3000系列台式扫描电镜，具备强抗振性和高效工业应用能力，操作简便，灵活拓展。在光电博览会上引起轰动，成为工业领域新“神话”，助力工业腾飞。
激光跟踪仪在火车轨道检测中的应用
简介：火车轨道测量采用GTS3800激光跟踪仪，确保数据连贯完整，精度高达15um+6um/m，提高测量质量和效率，保障火车运行安全。激光跟踪仪将在轨道测量中发挥重要作用。
探索GTS激光跟踪仪：如何实现大空间尺度的微米级测量？
简介：中图仪器推出的激光跟踪仪USMN组网技术，通过多测量设备构建空间坐标测量网，优化数值计算技术，提高测量精度和效率，突破单站测量局限，实现大空间内10微米精度测量，助力工业检测优化生产流程。
“软件即仪器”——全新架构 Xtreme Vision显微测量软件平台
简介：中图仪器开发的XtremeVision显微测量软件，集成3D形貌重建等功能模块，满足高精度形貌表征需求，非接触式无损检测，界面友好，自动化高效，广泛应用于多领域。
机床性能优化：校准补偿系统在故障诊断与预防性维护的应用
简介：激光干涉仪可以测量机床的线性定位精度、重复定位精度、反向间隙等。它通过高精度的环境补偿模块，能够自动补偿激光波长和材料特性，从而确保测量结果的准确性。
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