天准掩模测量Spector_价格-苏州天准科技股份有限公司

产品详情

掩模测量

天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。

针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300nm的特征尺寸，3sigma重复性通常在纳米范围内。

Spector主要特点

①Mask CD测量

②最大支持14寸掩模以及定制形状

③可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光

④SECS/GEM

⑤长期维护成本低，稳定可靠

苏州天准科技股份有限公司为您提供天准掩模测量Spector，天准Spector产地为江苏，属于国产掩模检查设备，除了掩模测量的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多掩模检查设备,天准科技客服电话400-801-3195，售前、售后均可联系。

售后服务

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企业名称: 苏州天准科技股份有限公司
企业类型: 股份有限公司(上市、自然人投资或控股)
信用代码: 91320500694456896Y
成立日期: 2009年08月20日
注册资本: 19244.5万元整
经营范围: 研发、生产、销售:测量和检测设备、测量和检测系统、机器人与自动化装备、自动化立体仓库及仓储物流设备、大型自动化系统、激光技术及装备、光电传感器、计算机软硬件产品、信息技术与网络系统、光学产品、电子产品、机械产品，并提供以上产品的技术服务、技术咨询、租赁、附属产品的出售，自营和代理各类商品及技术的进出口业务.(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动).许可项目:发电业务、输电业务、供(配)电业务(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以审批结果为准)

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