SAMCO深硅刻蚀设备RIE-400iPB_价格-深圳市矢量科学仪器有限公司

产品详情

1. 产品概述

RIE-400iPB是一款电感耦合等离子体放电设备，用于博世MEMS和电子元件工艺中的高速硅深孔加工。RIE-800iPB是为研究和开发目的而改装的。该系统由Robert Bosch GmbH（德国）授权，能够对MEMS和TSV所需的硅进行高速和高各向异性蚀刻。

2. 设备用途/原理

MEMS的制造（加速度传感器、陀螺仪、压力传感器、执行器等），μTAS等医疗设备的加工。

3. 设备特点

可以实现高速硅深孔加工，它具有独特的等离子体源和反应器结构，支持博世工艺，可实现硅的快速深钻。保持速度，减少扇形，通过高速切换气体，可以在保持蚀刻速度的同时减少扇形。可以进行SiO₂的蚀刻，可以通过更换用ICP线圈来处理SiO₂。

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCO深硅刻蚀设备RIE-400iPB，SAMCORIE-400iPB产地为日本，属于进口湿法腐蚀/刻蚀设备，除了深硅刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919，售前、售后均可联系。

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售后服务

产品货期： 60天
培训服务：安装调试现场免费培训

Business information

工商信息

信息已认证

企业名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司
企业类型: 有限责任公司(自然人独资)
信用代码: 91440300MA5G1QDA16
成立日期: 2020年01月10日
注册资本: 500万人民币
经营范围: 散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

型号：	RIE-400iPB
产地：	日本
品牌：	SAMCO
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