RIE等离子刻蚀设备

RIE等离子刻蚀设备

参考价:面议
型号: RIE-10NR
产地: 日本
品牌: SAMCO
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核心参数
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产品详情

1. 产品概述

RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能的全自动反应离子蚀刻系统,它能满足非腐蚀性气体化学苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料间的高蚀刻选择性。RIE-10NR具有时尚、紧凑的设计,需要小的洁净室空间。

2. 设备用途/原理

Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Mo、Pt、Polyimide等各种材料的蚀刻。故障分析中的选择性层蚀刻光阻剂的灰化、剥离和除尘。表面改性(润湿性和附着力的改善)

3. 设备特点

大加工范围:ø220 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)高选择性各向异性蚀刻满足苛刻的工艺要求。全自动 "一键式 "操作,可完全手动操作。计算机触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。自动压力控制,可精确控制工艺压力,不受气体流量影响。干式泵和系统布局便于维护。可靠和耐用的系统,全球安装了400多个系统


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供SAMCORIE等离子刻蚀设备RIE-10NR,SAMCORIE-10NR产地为日本,属于进口湿法腐蚀/刻蚀设备,除了RIE等离子刻蚀设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多湿法腐蚀/刻蚀设备,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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