Batch式高真空蒸发设备

Batch式高真空蒸发设备

参考价:面议
型号: ei系列
产地: 日本
品牌: 爱发科
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核心参数
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产品详情

1. 产品概述

Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作,适用于研究开发及少量生产。

2. 设备用途/原理

Power Device等化合物相关LED、LD、高速device各种实验用其他各种电子部件

3. 设备特点

可搭载多样蒸发源(EB、电阻式、EB+电阻式)。对应不同制程可选多种基板holder(lift-off、行星式、卫星式等)。φ2 in〜 6 in基板、矩形基板、Si、化合物、glass、陶瓷灯各种基板对应。液晶触控板集中现实操作。集成电脑拥有优异的操作性和性能(recipe功能、data-logging、maintenance assistant功能)。


深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供爱发科Batch式高真空蒸发设备ei系列,爱发科ei系列产地为日本,属于进口旋转蒸发仪,除了Batch式高真空蒸发设备的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多旋转蒸发仪,客服电话400-860-5168转5919,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 60天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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