日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500C
日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500C

日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500C

参考价：¥9100
型号： DF-500C系列
产地： 上海
品牌： 科赋乐
评分：
核心参数
芬泰克天津科技有限公司
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产品详情

应用：

　　DF-500系列　全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度

特性：

　　1.采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应

　   2.采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体

　　3.10SCCM~10SLM的产品阵容

　　4.配备了2个通信端口，支持菊花链

　　5.标准配备了RS-485通信功能

　　6.支持ROHS、CE规格

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传感器方式热绕组传感器
阀门方式比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
（未记载的气体换算成N2进行校正）
流量范围（*   2）10   SCCM~10 SLM
控制范围2~100％（F.S.）
响应能力总流量控制范围   1sec内（wihtin±2％F.S.）
L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（*   3）±1.0%F.S.
再现性±0.25%F.S.
工作压差（*   4）50~350   kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
耐压980kPa(G)
He泄漏率1   x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度使用温度5～50℃
精度保证温度15～35℃
允许储存温度-10～60℃
允许环境湿度10～90%RH   （无结露）
气体接触材料SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接D-sub   9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号0~5   VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号0~5   VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600   bps）
所需电源（DC）+15   VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头相当于1/4   VCR
安装姿势推荐水平方向
重量（*   9）约1100g


芬泰克天津科技有限公司为您提供科赋乐日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500CDF-500C系列，科赋乐DF-500C系列产地为上海，属于国产多组分气体分析仪，除了日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500C的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供瑞士进口高精度微流量质量流量计MFM 2120 、瑞士福克林 质量流量控制器 red-y smart高精度微流量,tjftk客服电话，售前、售后均可联系。

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