型号: | RM150A |
产地: | 天津 |
品牌: | 丘山仪器 |
评分: |
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RM150A 扫描四探针测试仪
RM150A是专为科学研究设计的扫描四探针电阻测试仪,可以对不超过150mm的样品(或6英寸晶圆)进行快速、自动的扫描,获得样品不同位置的方阻/电阻率分布信息。探针头借鉴了机械钟表机芯制造工艺,使用红宝石轴承引导碳化钨探针,确保高机械精度和长使用寿命。动态测试重复性(接近真实场景)可达0.2%,为行业前沿水平1 μΩ~1MΩ的超宽测量范围可涵盖绝大部分应用场景,可广泛适用于光伏、半导体、合金、陶瓷等诸多领域。
● 特性
* 全自动多点扫描:多种测试方案供选择,也可以自定义测试方案
* 手动任意点测量:只需提供坐标,一键测量
* 精密探针头:镶嵌红宝石轴套的探针头,保证测量的机械精度、稳定性和寿命
* 超宽测量范围:1 μΩ~1 MΩ
* 样品尺寸: 150 mm*150 mm*5 mm
* 测量速度: 2 秒/点
* 测量精度: <±1%
* 重复性(1σ): <±0.2% (ITO标样动态测试)
* 数据可视化: 彩色编码图
* 数据自动存储:存储为EXCEL文本格式,便于后期数据分析
● 应用
* 半导体及太阳能电池(单晶硅、多晶硅、非晶硅、钙钛矿)
* 液晶面板(ITO/AZO)
* 功能材料(热电材料、碳纳米管、石墨烯、银纳米线、导电纤维布)
* 半导体工艺(金属层/离子注入/扩散层)
● 定位精度
* 绝对定位精度:50 μm
* 重复定位精度: 5 μm
* 位移分辨率: 1 μm
● 探针头参数
* 探针间距:1.00 mm
* 探针材料:碳化钨
* 探针压力(可选):4 N(±1N)
* 机械游移:< 0.3%
* 宝石轴承内孔与探针间距:< 6 μm
● 重复性测试
● 外观尺寸(长*宽*高)
552mm * 520 mm * 300 mm
用户单位 | 采购时间 |
电子科技大学 | 2023/02/02 |
中科院物质结构研究所 | 2021/11/02 |
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