型号: | SG-O |
产地: | 上海 |
品牌: | 光焱科技 |
评分: |
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CIS / ALS / 光传感器晶圆测试仪SG-O产品介绍:
提供您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆级测试中所需的一切。
SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。
探测器可以处理最大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘,可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。
特色高度均匀的光源
从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围
超过 50mm x 50mm 区域的高度均匀性超过 98%
超稳定光强度,可维持不稳定性 < 0.2% 长达10小时以上
高光强动态范围,高达 140dB可编程自动探测器200mm ~ 10mm 晶圆或芯片处理能力
用于最准确可靠的 DC / CV、RF 测量
稳定的功能显微镜系统
整合硬件控制面板
自动晶圆装载机
智能晶圆映射
宽温低噪音卡盘
模块化卡盘
-80°C 至 180°C 的宽温度范围
先进的 CDA 热控制技术,高斜坡率和高 T 稳定性
用于精确 CIS / ALS/ 光传感器晶圆测试的超低噪声
系统设计
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。
卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。
高度均匀的光源
光谱范围:400nm 至 1700nm
色温:3000K 至 5200K
均匀照明面积:42mm x 25mm,工作距离 >200mm
照度均匀度:优于98%
短期光不稳定性:≤ 1% 超过 1 小时
长期光不稳定性:≤ 1% 超过 10 小时
DUT与最后一个光学组件之间的工作距离:≥200mm工作距离
单色光生成:
10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm
25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm
45±5nm FWHM 中心波长: 815nm
50nm FWHM 的中心波长:1600nm
60±5nm FWHM 中心波长:650nm
70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm
100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm
带外透光率 ≤ 0.01%
带通区峰值传输 ≥ 80%
中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm
FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm
可变衰减器:PC 控制的 3-decade 分辨率,至少 1000步
半自动晶圆探针:
晶圆尺寸能力:200mm、150mm、100mm 晶圆和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片
晶圆处理:单晶圆,手动进料型
半自动化:一步手动对准教和自动模步进
XYZ 平台
卡盘 XY 载物台行程:210mm x 300mm
卡盘 XY 平台分辨率:优于 0.5um
夹头 XY 平台精度:优于 2.0um
卡盘 XY 平台速度:最慢:10 微米/秒,最快:50 毫米/秒
Chuck Z 载物台行程:50mm
Chuck Z 平台分辨率:0.2um
卡盘 Z 平台精度:±2.0um
Theta 平台
Theta 载物台行程:± 5 度运动范围
Theta 分辨率:优于 0.01 度
Theta 精度:0.1 度
卡盘
卡盘平整度 ≤ 10um
卡盘热操作:-60°C 至 200°C
25°C 时的卡盘泄漏: 25°C 时在 10V 偏压下每个电压 ≤ 20fA
卡盘剩余电容 ≤ 95fF
探针卡
探针卡尺寸:4.5 英寸至 8 英寸长
探针卡座与压板之间的间隙:≥ 7.5mm
微型腔室
EMI 屏蔽:在 1kHz 至 1MHz 范围内 ≥ 30dB
系统交流噪声:≤ 5mVp -p
光谱辐照度计
光谱范围:400nm 至 1600nm
波长分辨率:400nm 到 1000nm 增加步长 < 1nm;1000nm 到 1600nm 增加步长 < 3.5nm
主要表现
SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令,例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。
来自 SG-O 显微镜系统的 CIS / ALS / 光传感器芯片图像
SG-O 的高度均匀光源具有一个超稳定的光引擎,在整个波长范围内,短期或长期的光强不稳定性均优于 0.2%。
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