精密光学领域,一般把Ra值<0.3nm的元件称为超光滑(超滑)元件。其极低的粗糙度和无损的高质量表面,在光学系统中可以有效的减少光的散射,在例如激光陀螺仪、高功率激光、超精密光学等领域,有广泛的应用。
随着一些行业对超光滑元件的使用越来越多,推进了表面加工技术快速发展的同时,也对其亚纳米级的粗糙度检测提出了更迫切的需求。
近来优可测白光干涉仪AM系列已为多家超光滑企业提供无接触、无损伤的粗糙度测量方案。在此分享给大家,一起来看看超光滑元件究竟有多光滑。
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样品一
粗糙度Sa=0.137nm(由优可测AM系列NA-500拍摄)
样品二
粗糙度Sa=0.082nm(由优可测AM系列NA-500拍摄)
粗糙度Sa值分别为
0.082nm、0.137nm!!!
相当于5km见方的空间范围内仅芝麻粒大小的凹凸起伏!
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优可测白光干涉仪AM系列NA-500可以观察到如此细腻的微观世界,主要得益于以下几点:
1.使用高精度压电陶瓷,通过精确控制电压信号产生微量位移;
2.500万像素的高感光度传感器及“弱光提取算法”,精确采集点云数据;
3.软件独特的“相位展开”图像采集功能,有效抑制系统噪声。
另外优可测Atometrics AM-7000系列白光干涉仪扫描速度最快可达400μm/s,如上结果仅用3-5秒钟即可获得!
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