视频详情:优可测薄膜厚度测量仪AF Mapping系列: Mapping系列可预设测量程序, 自动进行多点测量; 单点测量速度<0.5s; 测量过程中会自动计算最优路径; 内置氘灯+钨卤素灯, 波长范围180nm-2400nm; 兼容2-12寸的晶圆,可支持客制化。
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