普发真空APA污染管理解决系统
牛津仪器PlasmaPro100 ALE原子层刻蚀
牛津仪器PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统
•输入电容0.1pf
•输入电阻1.0兆欧
•工作电压范围 -10 to +20V
•带宽dc to 500 MHz
•射频探针夹具源,可以同时支持两个探头使用(PS-2)
•12C夹具替换用探针(12C-x-xx)
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