| 型号： | SRO700/706/714/716/706Getter |
| 产地： | 德国 |
| 品牌： | |
| 评分： |
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产品特点
标准450℃(更高可选1100℃)
采用光学镀膜加热板
热板温度变化速率快，红外石英灯加热器，惰性气体冷却
升温：>200℃/分钟
降温：>100℃/分钟
单晶圆升温速率可达30℃/秒
***触屏PLC控制器
工艺参数可电脑编程
过程工艺参数可记录
工艺气体流量MFC***控制
甲酸工艺模块
氢气工艺模块
正压工艺模块
焊膏/助焊剂工艺模块
等离子（Ar/H2）清洗模块
水气及氧气含量监测
极限真空：5×10-6mbar
产品型号及特性：
SRO700 | SRO706 | SRO714 | SRO716 | SROGetter | |
| 工作区域尺寸 | 230mm×217mm | 313mm×240mm | 230mm×217mm | 314mm×314mm | 300mm×240mm |
| 可粗理的晶圆尺寸 | 200mm | 200mm | 200mm | 300mm | 不适用 |
| 标配工作温度 | 450℃ | 450℃ | 450℃ | 450℃ | 450℃ |
| 可选工作温度 | 700℃ | 1000℃热板或 1100℃单晶圆 | 750℃ | 750℃ | 500℃ |
| 热板温度均匀性 | ± 2一3％ | ± 2一3％ | ± 1％ | ± 1％ | ± 2一3％ |
| 氦气检漏率 | <5x10E一8 mbar*l/s | <5x10E一9 mbar*l/s | <5x10E一9 mbar*l/s | <5x10E一9 mbar*l/s | <5x10E一9 mbar*l/s |
| 可选真空度 | 5mbar； 5x10E-2mbar； 5x10E-5mbar; | 5mbar； 5x10E-2mbar； 5x10E-6mbar; | 5mbar； 5x10E-2mbar； 5x10E-6mbar; | 5mbar； 5x10E-2mbar； 5x10E-6mbar; | 5x10E-6mbar |
| 样品高度 | 100mm | 100mm | 40,70或100mm | 40,70或100mm | 定制 |
| 腔室顶盖门 | 全手动操作 | 手动开关，电动上锁 | 气动开关，气动上锁 | 气动开关，气动上锁 | 手动开关，电动上锁 |
| 正压工艺能力 | 无 | 可选0.3MPa | 可选0.3MPa | 无 | 不适用 |
| 顶部加热 | 无 | 可选 | 可选 | 可选 | 标配 |
| 甲酸工艺气路 | 标配 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 氢气工艺气路 | 无 | 可选 | 可选 | 可选 | 可选 |
| 更换加热板速度 | 较快 | 较快 | ***快 | ***快 | 较快 |
| 自动生产线集成 | 不可以 | 不可以 | 可以 | 可以 | 不可以 |
| 颗粒污染控制 | 无 | 无 | 有 | 有 | 无 |
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