电子级双氧水的颗粒管控浅议
什么是双氧水
双氧水也 叫过氧化氢,过氧化氢是一种重要 的化工 原料,化学式为 H2 O2。 纯过氧化氢是淡蓝色的黏稠液体 ,可任意比例与水混溶 ,是一种强氧化 剂 ,水溶液俗称双氧水 ,为无色透明液体 。双氧水的生产方法主要有电 解法 、蒽醌法 、异丙醇法 、氧阴极还原法和氢氧直接化合法等 ,蒽醌法 是生产双氧水 的主要方法 , 国 内 99%以上 的双氧水装置采用该工 艺。
双氧水的作用
双氧水根据浓度及应用领域不同可分为电子级 、食品级 、工业级等 。 电 子级双氧水是生产电子集成电路不可或缺的化学试剂,在半导体制程前 端硅片清洗和剥离蚀刻完成后的光刻胶。主要用于半导体硅晶片清洗剂, 蚀刻剂和光刻胶去除剂 ,还可用于高级绝缘层制取 ,电镀液无机杂质去 除 , 电子行业中铜 、铜合金和镓 、锗的处理 , 以及太阳能硅晶片的蚀刻 和清洗 。 从行业产量来看 , 2021 年我 国 高纯 电子级双氧水产量 9.44 万 吨 , 同 比增长 32.0%。
双氧水的颗粒管控重要手段
电子级双氧水属于湿电子化学品 ,技术壁垒较高 。双氧水的颗粒管控也 显 得 尤 为 重 要 。 普 洛 帝 测 控 专 门 研 发 了 针 对 双 氧 水 的 颗 粒 管 控 设 备 PMT-2 。在双氧水生产企业已经得 到广泛应用。
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