方案摘要
方案下载| 应用领域 | 半导体 |
| 检测样本 | 其他 |
| 检测项目 | |
| 参考标准 | ISO21501-2 |
检测仪器：电子级光刻胶的级别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小，4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。 普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器，可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。
2、作用：光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用。印刷工业是光刻胶应用的另一重要领域。
3、现状：低端光刻胶国内企业基本能自给自足，但高端光刻胶基本被国外巨头垄断，应用于7nm以下的EUV光刻胶技术国内更是处于空白，国产化道路可谓任重道远。
4、检测仪器：电子级光刻胶的级别判定有线宽、金属杂质、颗粒数和大小，4个指标。其中颗粒检测用的是液体颗粒计数器。采用光散射法的原理来对光刻胶里的粒子大小和多少进行检测。通常会检测0.1um、0.2um、0.3um、0.5um这4个粒径值。
普洛帝测控PMT-2 光刻胶液体颗粒计数器，可以测高粘度和低粘度的光刻胶。在光刻胶行业里有一定的应用。
5、检测流程：在十级环境里（可以用十级清洁台达到十级检测环境的目的），将PMT-2 置于实验台上，取＞10mL的样量，设置5秒钟检测一次。检测3次，去除第1次检测结果，取后2次检测结果的平均值为检测结果。
6、注意事项：
保证PMT-2 检测的准确性。
检测前，用实验用水冲洗整个进液、出液管路。
检测环境达到十级，将二次污染减小到最小几率。
操作人员穿戴洁净服、佩戴洁净手套、帽子、口罩。做好防护。
文献贡献者
液体颗粒计数器解决高粘度光刻胶检测方案深度剖析
普洛帝液压油中颗粒污染监测方案
普洛帝研磨液颗粒在线监测方案
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