实时在线椭偏镀膜机
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实时在线椭偏镀膜机

参考价:¥100万 - 200万
型号: EE100
产地: 日本
品牌: ALS
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产品详情

本装置为高真空蒸镀设备,因此可对应搭载JA Wollam公司制造的橢偏仪而开发设计的蒸镀机。真空蒸镀过程中,配设橢偏仪以取得相关物性物理资讯。(以下的规格是记载除氧偏仪以外的高真空蒸镀机规格)


本蒸发镀膜装置搭载的是JA Wollam公司的椭偏仪,真空腔大小:280x410x290mm,蒸发源:2个,最大基板尺寸:80x80mm

Reference:

D.Yokoyama and C.Adachi: J.Appl.Phys. 107,123512(2010)

D.Yokoyama, K.Nakayama, T.Otani, and J.Kido: Adv.Mater. 24,6368(2012)

北京锐雪科技有限公司为您提供ALS实时在线椭偏镀膜机EE100,ALSEE100产地为日本,属于进口椭偏仪,除了实时在线椭偏镀膜机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多椭偏仪,锐雪科技客服电话,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 90天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训
  • 安装调试时间: 到货后30天内
  • 电话支持响应时间: 4小时内

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