双频激光干涉仪测高精度位移台

北京镭测科技有限公司

2023/01/18 14:59

双频激光干涉仪LH3000测高精度位移台

图中是为高精度位移台客户校准机床的线性定位精度，客户导轨总长500mm，2mm一个步距，精度要求要校准到800nm，图中使用的是双频激光干涉仪LH3000,目前机床领域的国内最高精度，双频对于单频测量来说，它的测量精度更高，抗干扰能力更强，这是基于本身原理的不同，很多国内的公司，会误导客户说自己家也是双频的干涉仪，其实是双频稳频不是双频测量，在1um精度左右的测量，很多单频是达不到的。

在图中先搭建好硬件通上电，然后搭建光路（干涉仪就是通过光的频差测量），让光路跟客户要测的设备匹配上，打开软件，采集客户目前的线型定位数据，然后用分析软件进行分析，最后导入客户的机床进行补偿，最后再测一遍进行复检。

总体流程操作大概再1-3个小时左右，其中环境的影响也会对测量造成影响，比如空气中的粉尘，空气温度对材料造成的膨胀，测量周围的振动，比如其他机床的运行等，这些在测量中都需要注意。

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