型号: | HRTOC -50 |
产地: | 河北 |
品牌: | 红日仪器 |
评分: |
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TOC总有机碳分析仪纯水在半导体制作工艺中,80%以上的工序要经过化学处理,而每-道化学处理都离不开超纯水; 在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如 水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ .cm ( 25℃) ,已极其接近理论纯水水质 18.3 MΩ .cm (25℃) 。对电解质、DO 、TOC 、SIO2 、颗粒及细菌等技术指标提出更高要求。如 256 兆 位的动态随机储存器生产工艺,光刻线条宽已达 0.1 微米,要保证这一指标,超纯水中颗粒 径就得≤0.05μm ,而且 20.05μm 不得超过 500 个/升超纯水。
2 、水质标准
超纯水水质标准大多数由中科院半导体所主要制定。
TOC总有机碳分析仪纯水
电源要求/功率 | 100 – 240 VAC, 50HZ, 120W |
测量范围 | 0.001mg/L~1.5 mg/L(1~1500ppb) |
电导率检测范围 | 0.055μs/cm~8μs/cm |
测量精度 | ±3% |
分辨率 | 0.001mg/L |
RSD | 重复性≤2% |
样品温度 | 0~99℃ |
噪音 | <60分贝 |
检测原理 | 采用紫外氧化、直接电导率 原理检测 |
样品 | 具有样品数据库 |
分析时间 | 连续分析 |
响应时间 | 5分钟之内 |
检测极限 | 0.001 mg/L |
样品温度 | 1-99℃ |
使用范围 | 离线实验室、清洁验证 |
审计追踪 | ≥5年 多项事件日志,可根据时间查询(选配) |
权限管理 | 用户名密码登录,4级权限,满足FDA 21CFR PART 11要求 |
密码管理 | 定时密码更换功能 |
锁屏功能 | 定时锁屏功能 |
方案管理 | 可自行设置测试方案 |
报警功能 | 具备 |
数据备份 | 具有备份功能 |
TOC总有机碳分析仪纯水
可用于检测制药工业中纯化水、注射用水和去离子水中总有机碳的浓度;也可用于半导体行业、电厂、科研单位、实验室等超纯水TOC的检测,在制药领域和生物化学领域清洁验证过程中,可用于验证清洁效果。
TOC总有机碳分析仪纯水
技术指标及功能
l 量程:0~50mg/L 或0~5000mg/L。
l 重复性:3 %
l 响应时间:7~15分钟
l 被测样品要求:固体颗粒不大于100μm;氯离子含量不大于1000ppm,超过1000 mg/L须加〈卤阱〉附件;不能与磷酸反应产生沉淀,若产生沉淀,须改变部分液流结构。
l 环境温度:0~40℃;相对湿度:RH0 ~ 90%。
l 电源:AC220V/50HZ 450W。
l 尺寸:570mm×320mm×1600mm。
l 重量:70kg
l 仪器采用8寸液晶显示屏,显示分辨率800*480,带触摸按键,外形美观,操作方便。
l 4-20mA模拟信号输出。
TOC总有机碳分析仪纯水
本仪器由湿式氧化回路和二氧化碳气体检测器组成。结构简单,连接方便,易维修,易升级换代;运行费用少,适合广大的厂矿企业、基层环保监测部门和有关院校师生教学使用;湿式氧化/微容式红外检测法灵敏度高、测量范围适合地表水和工艺水使用。
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