型号: | TLRHF-12 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 谱量光电 |
评分: |
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二维平移光谱响应度测试探针台
产品说明:
TLRH系列二维平移光谱响应测试探针台是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面,提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描,光电流扫描以及光响应速率测试。40μm 探测光斑,实现百微米级探测器的绝对光谱响应度测量。超高稳定性光源支持长时间的连续测试,丰富的光源选择以及多层光学光路设计可扩展多路光源,例如超连续白光激光器,皮秒脉冲激光器,半导体激光器,卤素灯,氙灯等,满足不同探测器测试功能的要求。是半导体微纳器件研究的优选。
产品特点:
• 半圆形探针架,可放置6个DC探针座
• 漏电精度100fA(吉时利2636B实测)
• 整体位移精度3μm
• 1微米以上电极/PAD使用
• 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜等
• 探针台整体位移分辨率3μm,样品XYZR四维调节
• 用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统
全系列 搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
通用参数:
样品台尺寸 | 12英寸 |
样品台行程 | 110X110mm |
位移精度 | 3um |
漏电精度 | 100fA |
线缆规格 | 三同轴线缆 |
探针座精度 | 3um |
显微镜移动 | 25*25mm |
接口方式 | 三同轴接口 |
背电极 | 可以引出背电极 |
驱动方式 | 精密研磨丝杆 |
位移维度 | XY整体位移 |
行程 | X:100mm Y:100mm |
分辨率 | 0.003mm |
直线度 | 0.002mm |
驱动误差 | 20° |
功能应用:
• 光谱响应度;
• 单色光/变功率IV;
• 不同辐照度IT曲线;
• 不同偏压下的IT曲线;
• 光电流Mapping曲线测试;
• 线性度测试;
• 响应速率测试;
• 瞬态光电压;
• 瞬态光电流;
产品示意图:
产品选型:
产品型号 | 样品台尺寸 | 样品台位移精度 | 探针座位移精度 | 漏电流精度 |
TLRHF-04 | 4英寸 | 3um | 3um | 100fA |
TLRHF-06 | 6英寸 | 3um | 3um | 100fA |
TLRHF-08 | 8英寸 | 3um | 3um | 100fA |
TLRHF-12 | 12英寸 | 3um | 3um | 100fA |
实验附件及常规测试步骤:
光学隔振平台(台面>600mm*600mm)、一台计算机(标准VGA接口和USB接口)、吉时利2400数字源表(含软件)等。
测试时连接探针台和数字源表,探针接被测物体,通过显微镜观察确定两根探针是否紧贴被测物表面,待连接导通后打开源表软件,选好参数即可出该触点的I-V性能曲线。
应用领域:
半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,以达更好的测试效果及更高的性价比,具体信息可联系详询。
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