型号: | LVHTF-12 |
产地: | 江苏 |
品牌: | 谱量光电 |
评分: |
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产品简介
LVHT系列恒温加热探针台是我司根据高校科研及产业研发需要,而特定设计的一款高精密控温探针台,系统兼顾位移调节精度及控温精度,实现测量芯片在不同温度下的电学性能变化,广泛应用于光电半导体等相关领域。
产品优势
模块化设计,可以搭配不同构件完成不同测试
最大可用于12英寸以内样品测试
探针台整体位移精度高达3μm,样品台精密四维调节
兼容多种光学显微镜,可外引光路实现光电mapping测试
PID控温,可加热至300℃,精度±0.1℃,均匀性±5℃;
满足1μm以上电极/PAD使用
漏电精度可达10pA/100fA(屏蔽箱内)
探针座采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
加宽探针放置架,可放置6个DC探针座/4个RF探针座
显微镜可二维精密调节,且可选配多种行程及驱动方式
模块介绍
通用参数
常规选型
相关配件
多种精度,多种夹具类型探针座
同轴线缆,三同轴线缆
各种类型探针
真空泵
电学测试夹具
电磁屏蔽箱
应用领域
半导体材料光电检测,功率器件测试,MEMS测试,PCB测试,液晶面板测试,测量表面电阻率测试,精密仪器生产检测,航空航天实验等。
谱量光电可根据客户实际应用需求,定制配套探针台系统,已达到更好的测试效果及性价比,具体信息可联系详询。
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