水滴角测试仪测量半导体晶圆的实际操作过程

广东北斗精密仪器有限公司

水滴角测试仪是一种用于测量液滴与固体表面接触角的仪器，可以用于研究半导体晶圆的表面润湿性能。接触角是液滴与固体表面接触时形成的角度，该角度反映了晶圆表面的亲水性或疏水性，以及液体在固体上的润湿性，包括润湿速度的分析。通过晶圆水滴角测试仪来测量半导体晶圆，常用于实际的操作过程中：

1、首先，出厂半导体晶圆样品。确保表面是干净的，表面无尘和无污垢。

2、液滴准备，一般以纯净水，蒸馏水为宜，液滴是纯净的，没有杂质。水通常用于测量表面的亲水性，而其他液体可以用于研究疏水性表面。

3、水滴角在滴液过程中，一般以2微升-5微升液滴为宜，且通过上升样品平台来接液，液滴不会过度扩散或过于局部，也不因重力影响而变形。

4、接触角的相机拍摄液滴与样品表面的图像。水滴角测试仪的实际拟合过程，确保清晰可见液滴的形状。

5、分析软件或工具测量液滴与固体表面的接触角。这个角度表示了液滴对固体表面的润湿性。根据接触角的大小，你可以了解样品表面的亲水性或疏水性，以及液滴在表面上的润湿性质。同时，还可以通过动态的拟合方法，量化水滴角的变化。

6、晶圆样品可取不同的点多次测量以获得准确的接触角值。半导体晶圆的接触角测量是为了确保在制备半导体器件时，液体或气体与晶圆表面的接触能够被精确控制和理解。

接触角是一个描述液体或气体与固体表面之间相互作用的物理性质的重要参数，通常用来评估液体在固体表面上的润湿性。北斗仪器专为晶圆深度定制的一台全自动水滴角测量仪，广泛用于晶圆的润湿性能分析与研究，是一台快速测量晶圆多点位润湿性分析测量的设备。

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