一、压差的测试
在洁净室中必须保证气流是从洁净区向洁净度较差的区域流动,而不能出现相反的情况。因为气流是从压力较高区域向压力较低区域流动,所以压差测量就是一种测量气流运动方向的间接方法。质量较高的洁净室要相对其毗邻的洁净度较差的区域保持更高的压力。记录压差测量的单位是帕(斯卡)(Pa)。有时仍然使用较老的单位例如英寸水柱(12Pa=0.05英寸水柱)。一般认为洁净区域之间应保持的压差为 10 或 15Pa。洁净室与洁净度未分级房间之间的压差一般为15Pa,两个洁净室之间的压差一般为 10Pa。
用巨大开口相连的两个区之间实现一定的压差( 如由供应通道相连的两个区实现一定的压差)时会出现问题,为达到压降的建议值,必须在通道中使用很大的风量。即使对开口区的通行有限制,即使压差小些也可以接受,但也还是要用大的风量。只要能达到基本要求,即气流运动总是保持正确的方向,使压差小一些应是完全合理的。但以此理由来说服每个人恐怕也不那么容易,所以还是必须要符合洁净室的标准为好。在洁净室标准中,一般对压差均有明确规定。
二、测试方法
为检查洁净室区与区之间的压差,空调机组必须保持正确的送风量和排风量,并且洁净室内所有的门要处在关闭状态。如果需要调整压差,则要减少室内的排风量以增加压力,或打开排风格栅以减少压力。
如果没有安装固定压力计,可以将压力计的探管从门下伸出,或者从溢流阀或打开着的旁路格栅伸出,探测器毗邻区域的气压,但探头距门要有一定距离,使门附近沿地板运行的气流不会影响压力测量。这样就可以获取压差的读数。在一些通风系统中,室内压力的测量是参照一个基准点进行的。当检测这类通风系统时,将毗邻空间的读数相减,即可计算出门口处的压差。
光度计内的油凝结
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