型号: | RTP-1300/RTP-1200 |
产地: | 韩国 |
品牌: | ECOPIA |
评分: |
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Ecopia快速退火炉(4~6英寸)
产地:韩国Ecopia;
型号:RTP-1300/RTP-1600;
RTP-1300, RTP-1600为Ecopia进口真空快速退火炉,仪器带有控制软件,为台式设计。
RT-1300可以退火100mmX100mm尺寸的样品,RTP-1600可以退火150mmX150mm尺寸的样品。
技术规格:
- 加热方式:红外卤素钨灯,1.2KW/支;
- 卤素红外灯数量:12支,或18支;
- 最快升温速率:100℃/秒;
- 最快降温速率:60秒(1000℃ → 400℃);
- 最高温度:1200℃;
- 温度精度:+/-1℃
- 最大样品尺寸:100 X 100mm, 或150mm X 150mm;
- 退火环境:真空、惰性气体、空气、其他工艺气氛(如氧气、氢气等);
- 真空泵及极限压力:机械泵,10-3Torr水平(选配);
- 电压:220 V,单相或三相;
- 仪器尺寸:500 X 400 X 500mm (W X D X H);
- 质量:净重60Kg;
仪器特点:
- 可在真空/不同气氛/空气不同环境下,对样品进行快速热处理;
- 温控精度高;
- 适合高校或研究所科研使用;
- 带有RTP控制软件;
- 紧凑的台式设计;
- 仪器操作方便,样片装取容易;
- 价格合理,高性价比;
应用领域:
- 快速热退火 (Rapid Thermal Annealing,RTA);
- 快速热氧化 (Rapid Thermal Oxidation,RTO);
- 快速热氮化 (Rapid Thermal Nitridation,RTN);
- 硅化 (Silicidation);
- 扩散 (Diffusion);
- 化合物半导体退火 (Compound Semiconductor Annealing);
- 离子注入后退火 (Implant Annealing);
- 电极合金化 (Contact Alloying);
- 晶化和致密化 (Crystallization and Densification);
- 合金熔点分析;
- 薄膜沉积;
等等…
RTP-1300快速退火炉参考用户:
北京师范大学、北京理工大学、昆明理工大学、东南大学、西安交通大学、渤海大学、中科院苏州纳米所、国电光伏、苏州新磊等...
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