型号: | AS-ONE/AS-MICRO |
产地: | 法国 |
品牌: | Annealsys |
评分: |
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产地:法国AnnealSys;
型号:AS-One100/AS-One150
AS-ONE立式快速退火炉为法国AS公司生产,分为AS-ONE 100, 150, 200三个型号,分别对应4英寸、6英寸、8英寸的真空快速退火炉产品。
应用:
- 快速热退火 RTA;
- 快速热氧化 RTO;
- 扩散,接触退火;
- 化合物半导体退火;
- 氮化,硅化;
- 硒化,硫化;
- 石墨烯沉积,碳纳米管生长;
- 晶体化,致密化;
技术规格:
规格 | AS-ONE 100 | AS-ONE 150 |
最大样品基底直径 | 100mm (4英寸) | 150mm (6英寸) |
腔体尺寸 | 130mm直径 x 25mm | 200mm直径 x 25mm |
红外灯数量/最大功率 | 12支 / 30KW | 18支 / 34KW |
红外灯冷却方式 | 风扇 | 风扇 |
标准温度范围 | 室温 ~ 1250°C | 室温 ~ 1200°C |
选配高温版本范围 | 室温 ~ 1500°C | 室温 ~ 1300°C |
升温速度 | 0.1°C ~ 200°C/s | 0.1°C ~ 150°C/s |
温度控制 | 快速数字PID控制器 | 快速数字PID控制器 |
热电偶 | K型 | K型 |
高温计 | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C | 150°C ~ 1100°C 400°C ~ 1500°C |
气体注入 | 石英视窗以下 | 石英视窗以下 |
清洗气路 | 标准配置 | 标准配置 |
工艺气路方式/数量 | MFC / 5路 | MFC / 5路 |
真空获得系统 | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) | 干泵(10-2Torr) 分子泵(10-6Torr) |
尺寸/重量 | 510mm x 1425mm x 800mm / 194Kg | 510mm x 1425mm x 800mm / 240Kg |
参考客户:
清华大学、北京大学、复旦大学、华南理工大学、天津中电十八所、南京中电五十五所、GE上海研发中心、南方科大、深圳大学等。
大尺寸样品快速退火炉
快速退火炉(RTP/RTA)是半导体材料和器件常用的一款工艺设备。快速退火炉可以在真空、惰性气氛、不同的工艺气体环境下使用。
仪器特点:
- 快速热处理、快速热退火 RTP / RTA;
- 可在真空、甚至于高真空环境使用;
- 广泛用于太阳能电池片快速退火工艺,如156mm X 156mm电池片,300mm X 300mm电池片等;
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