POLOS 无掩膜直写光刻机4寸
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POLOS 无掩膜直写光刻机4寸

参考价:面议
型号: NanoWriter
产地: 德国
品牌: POLOS
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核心参数
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产品详情

POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器,具有高精度组件,专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。


分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)

波长:405或375纳米

最大基材尺寸:110 × 110毫米


POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块,能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式,并允许2.5D光学结构,表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制,确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内,除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。

好处


高品质,低成本的无掩模光刻工具

375nm源可用于i-Line电阻

市场符合0.8µm分辨率

紧凑的光模块:使用一个备用光单元,减少机器停机时间

用户友好的操作

支持高达4“x4”的基板


宽度:580mm

高度:708mm

深度:600mm(不含可选风道)

重量:260kg

压缩空气:5 - 7bar,空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上


南通宏腾微电子技术有限公司为您提供POLOS 无掩膜直写光刻机4寸NanoWriter,POLOSNanoWriter产地为德国,属于进口无掩模光刻机/直写光刻机,除了POLOS 无掩膜直写光刻机4寸的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134,售前、售后均可联系。

售后服务
  • 产品货期: 200天
  • 培训服务: 安装调试现场免费培训

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