型号: | TohoSpec 3100 |
产地: | 日本 |
品牌: | Toho |
评分: |
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TohoSpec 3100
精确测膜厚度
TohoSpec 3100是一款低成本的薄膜厚度测量系统,它利用了一个现代的小点光谱反射计,建立在一个简单易用的桌面平台上。该系统结合了从市场领导者nanometics获得的核心技术,专为各种研发应用而设计。可靠的固态线性二极管阵列可提供快速、精确的单层薄膜测量,如氧化物、氮化物和光抗蚀剂,以及厚度范围为100Å至30 μ m的多达3层薄膜堆栈上的顶层。一个突出的价值,完成多达15个标准薄膜厚度测量算法,这种坚固和准确的系统在世界各地的实验室中使用,以紧凑的设计提供精确的薄膜厚度测量。
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