POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography
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POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography

参考价：面议
型号： POLOS Beam
产地： 德国
品牌： POLOS
评分：
核心参数
南通宏腾微电子技术有限公司
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产品详情

POLOS NanoWriter是一款多功能紫外激光书写器，具有高精度组件，专为用户提供在光敏层中创建微结构的最高自由度。


分辨率:0.8 - 2.5µm(5µm可选)

波长:405或375纳米

最大基材尺寸:110 × 110毫米


POLOS NanoWriter包括一个405 nm的光学模块，能够在光刻胶层中写入小至0.8微米的结构。这个用户友好的工具支持高达4095级的灰度或纯二进制模式，并允许2.5D光学结构，表面结构以及掩模项目。实时激光控制自动对焦和激光强度控制，确保整个曝光过程中的高质量成像。控制电子设备都安装在框架内，除了控制PC。这个基于微软windows的桌面PC和所有需要的软件都包含在包中。

好处


高品质，低成本的无掩模光刻工具

375nm源可用于i-Line电阻

市场符合0.8µm分辨率

紧凑的光模块:使用一个备用光单元，减少机器停机时间

用户友好的操作

支持高达4“x4”的基板


宽度:580mm

高度:708mm

深度:600mm(不含可选风道)

重量:260kg

压缩空气:5 - 7bar，空气质量符合ISO8573-1:2010 3级或以上

Maskless lithography offers a convenient way to create nanopatterns without the use of slow and expensive photomasks. This is particularly useful for research and rapid prototyping purposes. The POLOS® Beam is a budget compact solution that brings these benefits to your desktop without compromising on performance.

The POLOS® Beam Engine is a quick-swappable component that uses a UV laser beam to create a precise spot that can expose any pattern on a photoresist. To expose large wafers, precision steppers move the wafer, and multiple exposures are stitched together. The POLOS® Beam Engine can produce features smaller than (CD) 0.8 μm on a 5" wafer when equipped with a 405nm Engine and 20x objective.

Compact

Full-featured maskless lithography, smaller than a desktop computer.

Powerful

Sub-micron resolution while exposing a write field in less than two seconds.

Ultrafast Autofocus

Piezo-actuators reach focus in less than a second when combined with our close- looped focus optics.

No-fuss Multilayer

Semi-automatic alignment allows multilayer alignment to be completed within minutes.

The included software makes quick work of any patterning job; just load, align and expose. Navigation is similar to CNC systems.

 




南通宏腾微电子技术有限公司为您提供POLOS 激光直写光刻机Maskless lithographyPOLOS Beam，POLOSPOLOS Beam产地为德国，属于进口无掩模光刻机/直写光刻机，除了POLOS 激光直写光刻机Maskless lithography的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多无掩模光刻机/直写光刻机,宏腾微电子设备客服电话400-860-5168转6134，售前、售后均可联系。

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售后服务
  • 产品货期： 200天
  • 培训服务： 安装调试现场免费培训

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