型号: | POLOS 450 |
产地: | 德国 |
品牌: | POLOS |
评分: |
![]() ![]() ![]() ![]() ![]() |
POLOS专为研发和小批量生产而设计。空气动力学效率高的腔室可提高均匀性,而天然聚丙烯或 PTFE 结构可确保无金属、无污染且易于清洁的工艺区域。
适用于镀膜、清洗、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI等工艺
|
型号 | SPIN150i | SPIN200i | POLOS300 | POLOS450 | POLOS600 |
基片范围 | 直径160mm 或者 4英寸方片 | 直径260mm 或者 6英寸方片 | 直径360mm 或者 8英寸方片 | 直径 460mm 或者 12英寸方片 | 直径600mm 或者 超大方片 |
程序段数 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 无限制 | 0个程序 |
操作步数 | 90个步骤 | ||||
旋转速度 | 0-12,000 rpm ±1rpm steps | 0-1500rpm ±1rpm steps | |||
旋转精度 | ±0.1 rpm | ||||
旋转方向 | 顺时针、逆时针、交换摆 | ||||
加速度 | 30,000 rpm/sec | ≤1500rpm时取决于负载 | 500 rpm/sec | ||
旋转时间 | 无限制*,± 0.1 seconds steps | 1 to 999 sec/step | |||
腔体直径 | 202 mm | 302 mm | 402 mm | 502 mm | 642mm |
触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 | 全彩触屏控制 |
相关产品
2000度真空退火炉/3000度退火炉
日本JEOL电子束光刻机JBX-6300FS
日本JEOL电子束光刻机JBX-9500FS
石墨烯/二维材料电学性质非接触快速测量系统
lakeshore多通道高精度低噪声综合电学测量仪 M81-SSM
Janis无液氦超导磁体系统-DryMag
CCS-XG低振动光学低温恒温器Janis
CCS-300S紧凑型光学低温恒温器
CPX多功能低温探针台Lake Shore
CRX-4K无液氦低温探针台Lake Shore
VOYAGER 高性能电子束曝光系统
EBPG Plus 超高性能电子束光刻系统
德国 Raith 电子束光刻机 Pioneer Two
无掩模光刻机/直写光刻机beam-6
小型台式无掩膜光刻机-MicroWriter ML3 (旗舰型)
关注
拨打电话
留言咨询